紫外臭氧在金属表面去污应用

UV-O3除污不仅对金属部件有效，而且不会损坏可能附着在部件上的非金属部件，如橡胶或塑料部件。金属、塑料和玻璃纤维部件将根据暴露时间保留其原始表面，并且由于表面污染的程度和类型以及表面对紫外线或臭氧的可及性，某些表面会比其他表面更快地去污。

由于焊盘周围存在电解质，铝焊盘可能会腐蚀。 UV-O3 暴露可提高模塑料和 IC 芯片之间的粘合力，防止焊盘处形成湿气和电解质。 UV-O3 净化已被证明可有效防止腐蚀。去污后立即测量水接触角，去污后的部件存放18h和24h后再次测量水接触角。发现去污时间越长，接触角越小。

硫很容易附着在金上，暴露在环境条件下的新沉积金样品很容易被环境中存在的任何硫化合物污染。通过链烷硫醇的自组装单层将硫与金结合在有机薄膜的接触印刷和光刻应用中具有重要意义，并且表征此类硫醇薄膜中的硫对于理解它们的性质和相互作用至关重要。与金结合的烷基硫酸盐在紫外光照射下转化为烷基硫酸盐，可以用水洗涤去除。该原理被用作 UV-O3 去污的基础，以消除暴露在环境条件下的金中的硫杂质，以及去除先前的硫醇单层以产生新的金表面。

研究了将二氧化碳 (CO2) 喷丸与 UV-O3 相结合的两阶段工艺，以将中小型部件表面的航空铝合金清洁至适合粘合的清洁度。其他应用包括复杂部件的去污、非金属部件的去污以及在应用光学和热保护涂层之前物体的去污。