1 CCD,CMOS 行业wafer级清洗,暴雪清洗技术领先同业,已达100%无水领域。二氧化碳本身清洗过程中不导电、干燥、和不损坏产品表面等优点
2 自动排废气机构,避免二次污染
3 高精度AOI颗粒残留检测,精度可到3um。自动循环二次清洗。
4 根据客户产品可定制化上下料机构
应用案例展示:
晶圆清洗/芯片CO2干冰雪清洗
清洗印刷电路板
清洗电路板