干冰雪花清洗机是一种利用干冰颗粒进行清洗的设备。其原理是通过将固态二氧化碳(干冰)加热转化为气态,然后通过喷嘴将高速喷射出的气体聚焦在一个点上,使干冰迅速膨胀为气体,产生巨大的机械冲击力和热冻效应,从而将污垢从被清洗物体表面震落并迅速挥发。
干冰雪花清洗机在晶圆、光学传感器、集成电路等清洁方面具有以下优势:
1. 非接触性:干冰雪花清洗机采用高速喷射干冰颗粒的方式,不需要直接接触被清洗物体,避免了机械刮擦或化学腐蚀的风险。对于对触摸敏感或易损坏的器件非常适用。
2. 无残留物:干冰在接触被清洗物体时迅速转化为气体,不会留下任何残留物。这对于要求高纯度和无污染的领域非常重要,如半导体制造和光学仪器制造。
3. 去除困难污染物:干冰雪花清洗机能够有效地去除一些难以清洗的污染物,如油脂、胶水、漆等。干冰颗粒的机械冲击力和热冻效应能够将这些污染物从表面震落并迅速挥发,达到彻底清洁的效果。
举例来说,在晶圆制造中,干冰雪花清洗机可以用于去除晶圆表面的残存胶水、树脂以及其他污染物。
它能够快速清洗晶圆表面而不会产生任何腐蚀或留下残留物。这对于确保晶圆表面的纯净度和平整度非常重要,以保证后续工艺的顺利进行。
在光学传感器的清洗方面,干冰雪花清洗机能够高效去除传感器表面的灰尘、油脂和指纹等污染物。
由于其非接触性和无残留物的特点,能够确保传感器的敏感元件不受损坏,并提供清晰、准确的信号输出。
对于集成电路而言,干冰雪花清洗机可以用于清除IC封装过程中产生的树脂溢出、焊盘上的焊剂以及其他污染物。其高效的清洗能力可以确保IC封装的质量和可靠性。
干冰雪花清洗机具有非接触性、无残留物和能够去除困难污染物等优势,使其在晶圆、光学传感器、集成电路等清洗领域得到广泛应用。