喷冰工艺可以使用在哪些领域

冰喷射的一项创新应用是在制造过程中对零件进行去毛刺和去污处理。该工艺对铝和黄铜等软金属有效，但也可以去除钢和铁的毛刺，具体取决于直径大小及其与零件的粘附强度。喷冰也已成功应用于聚乙烯和聚丙烯等非金属材料，但工艺参数仍需要针对该应用进行优化。复杂零件容易去毛刺，大大小小的毛刺都能去除。小毛刺通常难以去除，因为它们的前部面积小且基台长。经冰刀去污、去毛刺后，零件表面可保持光洁光滑。与大多数金属部件一样，零件在去毛刺步骤后应立即干燥，以防止腐蚀、氧化和生锈。

一种使用直径为 0.1-300µm 的超净薄冰对半导体晶圆进行去污的方法。通过调节冰粒硬度、射流压力和射流角度来控制对晶圆表面的影响。它可以准确地去除晶圆表面的亚微米颗粒（直径<0.3um）和有机污染物，如指纹、油脂和油性墨水。这种去污方法经过改进，增加了一个加速冰射流的机构，这些电极由高频交流电源连接，每个电极在冰粒运动方向上的长度是可调的。

根据冰粒的速度进行调整，去污方法的另一种改进是使用含有过氧化氢的冰粒，用从融化的冰粒-H2O2混合物中得到的H2O2溶液对表面进行物理和化学去污。

许多研究使用冰喷雾去污方法对晶圆进行去污，并评估了去污过程的主要变量对去污效率的影响。冰粒去污效率达95%以上。去污效率受颗粒的质量浓度、腔室压力以及喷嘴与基板之间的距离的影响。

冰喷射已成功用于去除计算机硬盘驱动器上的污染物。将硬盘表面涂漆，然后用直径为0.5~3mm的冰粒以35g/min的冰流量在硬盘表面喷洒2分钟。去污后硬盘工作正常，硬盘上的音频文件声音没有变化。其他示例包括液晶显示器、电路板、太阳能电池板组件、光学组件的放大镜的去污，以及从薄膜表面到基底的去污，这些去污在去除污渍后在表面的目测或显微镜检查中未观察到。